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MKS成立于1961。MKS的電源、測(cè)量、控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)，改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率，提高了產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。MKS產(chǎn)品起源于MKS的壓力和流量測(cè)量與控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成份分析、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)。下面是我們?yōu)閺V大客戶(hù)帶來(lái)的美國(guó)MKS射頻發(fā)生器規(guī)格（MKS射頻發(fā)生器產(chǎn)品概述）產(chǎn)品介紹內(nèi)容，我們將為大家介紹美國(guó)MKS射頻發(fā)生器的不同特點(diǎn)，希望能為您了解射頻發(fā)生器產(chǎn)品帶來(lái)一些幫助。
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一、MKS射頻發(fā)生器產(chǎn)品概述
MKS射頻功率發(fā)生器為薄膜加工設(shè)備提供可靠的固態(tài)電源。它們是半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的重要組成部分，用于生產(chǎn)現(xiàn)代計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備所需的集成電路(IC)或芯片。MKS射頻發(fā)生器與他們的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)和V/I探頭相結(jié)合，形成了一個(gè)完整的射頻傳輸系統(tǒng)。Elite™系列射頻等離子體發(fā)生器在緊湊的風(fēng)冷封裝中提供了最先進(jìn)的技術(shù)。Elite采用高速閉環(huán)控制、E級(jí)射頻甲板和開(kāi)關(guān)調(diào)制器設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)卓越的輸出性能。精英設(shè)計(jì)采用單個(gè)印刷電路板組件來(lái)實(shí)現(xiàn)全機(jī)架產(chǎn)品，幾乎消除了所有內(nèi)部電線(xiàn)和連接器，從而提供了最高的可靠性。
二、美國(guó)MKS射頻發(fā)生器特點(diǎn)
①風(fēng)冷可降低設(shè)施成本-不需要連接到工廠(chǎng)冷卻回路
②高效率設(shè)計(jì)，DC至RF效率大于85%，功耗低
③緊湊的半機(jī)架外殼可直接安裝工具
④集成單板設(shè)計(jì)消除了電纜和連接器
⑤動(dòng)態(tài)頻率調(diào)諧減少等離子體穩(wěn)定時(shí)間
⑥開(kāi)-關(guān)、電平到電平和脈沖整形，以實(shí)現(xiàn)最大的工藝靈活性
⑦脈沖能量控制可實(shí)現(xiàn)過(guò)程重復(fù)性
⑧多頻應(yīng)用中脈沖控制的脈沖同步
⑨高達(dá)50 KHz的脈沖頻率，可滿(mǎn)足高級(jí)工藝要求
三、美國(guó)MKS射頻發(fā)生器規(guī)格
①頻率：13.56兆赫
②準(zhǔn)確性：±0.005%
③負(fù)載阻抗范圍：200-750 W，取決于型號(hào)
④諧波輸出和失真：-20至-30 dBc
⑤諧波輸出：-30分貝
⑥輸入交流電源：?jiǎn)蜗啵?10VAC-253VAC，50Hz/60Hz
⑦射頻連接器：N型
⑧遠(yuǎn)程數(shù)字接口：RS-232通過(guò)DB9F
⑨模擬接口：25針DB25F
⑩冷卻：風(fēng)冷
?工作溫度：5-40°C
?設(shè)定點(diǎn)響應(yīng)時(shí)間：小于10ms（模擬）
?開(kāi)關(guān);電源開(kāi)關(guān)：前面板開(kāi)關(guān)
?交流輸入連接器：符合IEC標(biāo)準(zhǔn)的入口
四、美國(guó)MKS射頻發(fā)生器優(yōu)勢(shì)
（1）低擁有成本
①風(fēng)冷可降低設(shè)施成本
②高效率設(shè)計(jì)，DC至RF效率大于85%，功耗低
③寬輸入范圍允許在全球范圍內(nèi)安裝，無(wú)需特殊變壓器
（2）易于安裝
①空氣冷卻不需要連接到工廠(chǎng)冷卻回路
②緊湊的半機(jī)架外殼可直接安裝工具
③標(biāo)準(zhǔn)IEC輸入連接器無(wú)需特殊線(xiàn)束
④單相寬交流輸入范圍可輕松安裝在具有不同交流線(xiàn)路電壓的全球市場(chǎng)中
⑤帶保險(xiǎn)絲，適用于單相或兩相系統(tǒng)
（3）卓越的可靠性
①集成單板設(shè)計(jì)消除了電纜和連接器
②獲得專(zhuān)利的感應(yīng)鉗技術(shù)可保護(hù)發(fā)生器免受最不利的VSWR負(fù)載條件和等離子體波動(dòng)的影響
（4）增加價(jià)值
①基于現(xiàn)場(chǎng)可編程門(mén)陣列(FPGA)的控制可實(shí)現(xiàn)快速控制環(huán)路和發(fā)電機(jī)負(fù)載瞬變保護(hù)
②通用勵(lì)磁機(jī)(CEX)允許主從操作并與其他發(fā)電機(jī)同步
③可選的LCD顯示屏和6按鈕多功能鍵盤(pán)允許從前面板進(jìn)行本地操作
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